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Nike Free 5 sur SAW et HEMT La fonctionnalité

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Ce travail présente une nouvelle approche de la conception et la fabrication de structures à base AlGaN / GaN HEMT SAW-à appliquer pour les capteurs chimiques de gaz opérant dans environnement hostile. Une compatibilité intégrée directement Nike Free Run 2 sur la puce dans la Nike Free 5 technologie de processus d'ondes acoustiques de surface (SAW) structure et transistor à haute mobilité d'électrons (HEMT) a été démontrée. Il a permis d'intégrer deux principes différents de détection de gaz basé à la fois sur SAW et HEMT. La fonctionnalité de deux types de structures SAW et dispositif HEMT a été étudiée. Les caractéristiques d'amplitude mesurées de structures SAW révélé excitation à la fréquence centrale de crête d'environ 1,35 GHz et 1,7 GHz respectivement avec les deux un bon facteur de qualité et la bande d'arrêt taux de réjection. L'électronique de détection basé sur SAW oscillateur a ensuite été conçu et simulé. Il se est avéré la fonction attendue et les propriétés.
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